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マイクロ加工の物理と応用
- フォーマット:
- 図書
- 責任表示:
- 吉田善一著
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 東京 : 裳華房, 1998.3
- 形態:
- x, 234p ; 22cm
- 著者名:
- 吉田, 善一(1957-) <DA11250429>
- シリーズ名:
- 応用物理学選書 ; 8 <BN00353549>
- 書誌ID:
- BA35144601
- ISBN:
- 9784785325084 [4785325089]
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