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1.

図書
図書
1. 集積回路のための半導体デバイス工学
小林清輝著
出版情報: 東京 : コロナ社, 2018.4
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2.

電子ブック
ＥＢ
2. 集積回路のための半導体デバイス工学 (: electronic bk)
小林清輝著
出版情報: 東京 : コロナ社, 2018.4
オンライン: https://elib.maruzen.co.jp/elib/html/BookDetail/Id/3000074404
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3.

図書
図書
3. シリコン半導体 : その物性とデバイスの基礎
白木靖寛著
出版情報: 東京 : 内田老鶴圃, 2015.10
シリーズ名: 物質・材料テキストシリーズ / 藤原毅夫, 藤森淳, 勝藤拓郎監修
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4.

電子ブック
ＥＢ
4. 半導体の高次元化技術 : 貫通電極による3D/2.5D/2.1D実装 (: electronic bk)
傳田精一著
出版情報: 東京 : 東京電機大学出版局, 2015.4
オンライン: https://elib.maruzen.co.jp/elib/html/BookDetail/Id/3000033007　（試読期間限定）
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5.

電子ブック
ＥＢ
5. シリコン貫通電極TSV : 半導体の高機能化技術 (: electronic bk)
傳田精一著
出版情報: 東京 : 東京電機大学出版局, 2011.4
オンライン: https://elib.maruzen.co.jp/elib/html/BookDetail/Id/3000001698　（試読期間限定）
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6.

図書
図書
6. SOI構造形成技術
古川静二郎編著
出版情報: 東京 : 産業図書, 1987.10
シリーズ名: 集積回路プロセス技術シリーズ
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7.

図書
図書
7. シリコン結晶とドーピング
阿部孝夫, 小切間正彦, 谷口研二著
出版情報: 東京 : 丸善, 1986.6
シリーズ名: 電子材料シリーズ
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