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Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology. 3rd ed

フォーマット:: 図書
責任表示:: Marc J. Madou
言語:: 英語
出版情報:: Boca Raton : CRC Press, c2012
形態:: xiii, 641 p. : ill. (some col.), ports. (some col.) ; 29 cm
著者名:: Madou, Marc J. <DA0355770X>
シリーズ名:: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 1 <BB06582045>
書誌ID:: BB06582453
ISBN:: 9781420055115 [1420055119] (: hardback)

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主題:	Microelectromechanical systems; Microfluidics; Nanoelectromechanical systems; Solid state physics
分類・件名:	LCC : TK7875 DC22 : 621.381 LCSH : Microelectromechanical systems LCSH : Nanoelectromechanical systems LCSH : Microfluidics LCSH : Solid state physics
LCCN:	2011014406
注記:	Includes bibliographical references and index
TTLL:	eng

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